精密控制 · 涂布单元

高刚性模头横移结构，控制涂布基准面的变形与偏差

从模头底板刚性、横移导向到伺服闭环纠偏建立完整精度链，降低载荷变化对涂布间隙的影响。

提交工艺条件
涂布单元模头横移与底板结构

结构与控制要点

  • 模头底板按2倍系数进行仿真设计，设计变形量小于5μm。
  • 横移采用机床重载THK导轨与高精度伺服电机，提升运行刚性与重复定位能力。
  • 可结合CCD闭环横向纠偏，提高模头AB面的对齐精度。

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